Handbook of Thin Film Process Technology: 98/1 Reactive Sputtering - Couverture rigide

Glocker, David A

 
9781315893686: Handbook of Thin Film Process Technology: 98/1 Reactive Sputtering
Couverture rigide
ISBN 10 : 1315893681 ISBN 13 : 9781315893686
Editeur : CRC Press, 2017

Synopsis

The Handbook of Thin Film Process Technology is a practical handbook for the thin film scientist, engineer and technician. This handbook is regularly updated with new material, and this volume is a special issue on reactive sputtering which will be of interest to a wide range of industrial and academic researchers in addition to owners of the main Handbook. Some recent developments in the reactive sputtering field are covered, including unbalanced magnetron sputtering and pulsed reactive sputtering. The articles contain a wealth of practical information relating to applications, practice and manufacturing techniques.

Les informations fournies dans la section « Synopsis » peuvent faire référence à une autre édition de ce titre.

À propos de l?auteur

David A Glocker

Les informations fournies dans la section « A propos du livre » peuvent faire référence à une autre édition de ce titre.

Éditeur
CRC Press
Date d'édition
2017
Langue
anglais
ISBN 10 
1315893681
ISBN 13 
9781315893686
Reliure
Relié
Nombre de pages
90
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible

Autres éditions populaires du même titre

9780750305280: Handbook of Thin Film Process Technology/98/1 Reactive Sputtering

Edition présentée

ISBN 10 :  0750305282 ISBN 13 :  9780750305280
Editeur : Institute of Physics Publishing, 1998
Couverture rigide