Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Couverture souple

Borisenko, Victor E. E.; Hesketh, Peter J.

 
9781489918062: Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Synopsis

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

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Présentation de l'éditeur

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

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9780306450549: Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Edition présentée

ISBN 10 :  0306450542 ISBN 13 :  9780306450549
Editeur : Plenum Publishing Co.,N.Y., 1997
Couverture rigide