In Situ Process Diagnostics and Modeling: Volume 569 - Couverture rigide

 
9781558994768: In Situ Process Diagnostics and Modeling: Volume 569
Couverture rigide
ISBN 10 : 1558994769 ISBN 13 : 9781558994768
Editeur : Cambridge University Press, 1999

Synopsis

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.

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Présentation de l'éditeur

Fabrication of future generations of advanced film-based devices will require monitoring of ultrathin layers with sharp interfaces in which the layer thickness may reach atomic dimensions. It therefore becomes increasingly more important to be able to monitor film-deposition processes in situ and in real time under different background pressure conditions. Diffusion or surface segregation processes relevant to device fabrication also need to be characterized. To these ends, a variety of complimentary in situ, real-time characterization techniques are needed to advance the science and technology of thin films and interfaces. This book offers an interdisciplinary exchange of ideas from researchers with cross-disciplinary expertise. The application of in situ characterization methods are discussed in relation to different materials including oxides, nitrides, semiconductors, and metals analyzed at the macroscopic, microscopic and nanoscale level.

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Éditeur
Cambridge University Press
Date d'édition
1999
Langue
anglais
ISBN 10 
1558994769
ISBN 13 
9781558994768
Reliure
Relié
Nombre de pages
199
Éditeur
Auciello Orlando, Krauss Alan R., Irene Eugene A., Schultz J. Albert
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
Avery
https://www.avery.fr/

chemin des peupliers 27
Dardilly
France