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Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV: Volume 1299 - Couverture rigide

 
9781605112763: Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV: Volume 1299
Couverture rigide
ISBN 10 : 1605112763 ISBN 13 : 9781605112763
Editeur : Cambridge University Press, 2011

Synopsis

Symposium S, 'Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV', focused on micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS/NEMS).

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Présentation de l'éditeur

Symposium S, 'Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV', held November 29–December 3 at the 2010 MRS Fall Meeting in Boston, Massachusetts, focused on micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS/NEMS), technologies which were spawned from the fabrication and integration of small-scale mechanical, electrical, thermal, magnetic, fluidic and optical sensors and actuators with micro-electronic components. MEMS and NEMS have enabled performance enhancements and manufacturing cost reductions in a number of applications, including optical displays, acceleration sensing, radio-frequency switching, drug delivery, chemical detection and power generation and storage. Although originally based on silicon microelectronics, the reach of MEMS and NEMS has extended well beyond traditional engineering materials and now includes nanomaterials (nanotubes, nanowires, nanoparticles), smart materials (piezoelectric and ferroelectric materials, shape memory alloys, pH-sensitive polymers), metamaterials and biomaterials (ceramic, metallic, polymeric, composite-based implant materials). While these new materials provide more freedom with regards to the design space of MEMS and NEMS, they also introduce a number of new fabrication and characterization challenges not previously encountered with silicon-based technology.

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Éditeur
Cambridge University Press
Date d'édition
2011
Langue
anglais
ISBN 10 
1605112763
ISBN 13 
9781605112763
Reliure
Relié
Nombre de pages
220
Éditeur
DelRio Frank W., De Boer Maarten P., Eberl Christoph, Gusev Evgeni
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
Avery
https://www.avery.fr/

chemin des peupliers 27
Dardilly
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ISBN 10 :  1107406838 ISBN 13 :  9781107406834
Editeur : Cambridge University Press, 2014
Couverture souple

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Gusev Evgeni Eberl Christoph Boer Maarten P. De DelRio Frank W.
Edité par Cambridge University Press, 2011
ISBN 10 : 1605112763 ISBN 13 : 9781605112763
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FRANK W. DELRIO, NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGYMAARTEN P. DE BOER, CARNEGIE MELLON UNIVERSITY, PENNSYLVANIACHRISTOPH EBERL, KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGYEVGENI GUSEV, QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES DIV CLASS="CONTRIBUTORSPEOPLE">DIV CLASS="CONTRIBUTORSPEOPLEHIDDEN">JANE WANG, CHURAMANI GAIRE, MARCO BALUCANI, STEFANO STASSI, J. JUSTICE, NIRAJ INAMDAR, KAZUHIKO INOUE, MASATO UEHARA, LUZ SANCHEZ, SRIKAR VENGALLATORE, DANIEL POTREPKA, JOUMANA EL-RIFAI, NAOTO KOCHI, PEDRO SOUSA, V. SE
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