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Two-Dimensional Periodic Nanoscale Patterning of Solid Surfaces by Four-Beam Standing Wave Excimer Laser Lithography - Couverture souple
Synopsis
This book presents and discusses a promising technology for fabrication of the one- and two-dimensional nanoperiodic structures on the solid surfaces by direct two- and four-beam standing wave pulsed laser modification. This method being developed extensively at present is very promising for application in nanoelectronics, data storage, integrated optics, and is considered to be a promising alternative to X-ray lithography in a wide range of applications.
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Two-Dimensional Periodic Nanoscale Patterning of Solid Surfaces by Four-beam Standing Wave Excimer Laser Lithography
Edité par
Nova Science Publishers, Incorporated, 2010
ISBN 10 : 161668674X
ISBN 13 : 9781616686741
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Two-Dimensional Periodic Nanoscale Patterning of Solid Surfaces by Four-beam Standing Wave Excimer Laser Lithography
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Nova Science Publishers, Incorporated, 2010
ISBN 10 : 161668674X
ISBN 13 : 9781616686741
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Two-Dimensional Periodic Nanoscale Patterning of Solid Surfaces by Four-beam Standing Wave Excimer Laser Lithography
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Nova Science Publishers, Incorporated, 2010
ISBN 10 : 161668674X
ISBN 13 : 9781616686741
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TWO-DIMENSIONAL PERIODIC NANOSCALE PATTERNING OF SOLID SURFACES BY FOUR-BEAM STANDING WAVE EXCIMER LASER LITHOGRAPHY (PB 2010)
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Nova Science Pub Inc, 2010
ISBN 10 : 161668674X
ISBN 13 : 9781616686741
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TWO-DIMENSIONAL PERIODIC NANOSCALE PATTERNING OF SOLID SURFACES BY FOUR-BEAM STANDING WAVE EXCIMER LASER LITHOGRAPHY (PB 2010)
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Two-Dimensional Periodic Nanoscale Patterning of Solid Surfaces By Fou
Edité par
NOVA SCIENCE PUBLISHERS INC, 2010
ISBN 10 : 161668674X
ISBN 13 : 9781616686741
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