Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications - Couverture souple

Livre 201 sur 233: Springer Series in Materials Science

Rebohle, Lars; Prucnal, Slawomir; Reichel, Denise

 
9783030233006: Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications
Couverture souple
ISBN 10 : 3030233006 ISBN 13 : 9783030233006
Editeur : Springer, 2019

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Synopsis

Introduction.- Technological background.- Basic components.- Flash lamps.- Process management and process control.- FLA assisted deposition.- Temperature.- Thermal budget.- Temperature measurements.- Temperature simulations.- FLA for semiconductors.- Defect engineering.- Doping.- Crystallization.- Semiconductor nanostructures.- Beyond semiconductors.- Transparent conducting oxides.- Metallic films.- High-k materials and dielectrics.- Flexible substrates.- Outlook.

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Éditeur
Springer
Date d'édition
2019
Langue
anglais
ISBN 10 
3030233006
ISBN 13 
9783030233006
Reliure
Taschenbuch
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
CMN Printpool Inh. Mathis Neumann
https://www.also.com/ec/cms5/en_6000/6000/index.jsp

Friedrich-Karl-Str. 9
Hamburg
Allemagne

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