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Synopsis
This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and optimization are conducted on operational research combined with cases studies. Written in a practical way, it is an essential reference for researchers and engineers in manufacturing and management.
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À propos de l'auteur
Jie Zhang, Shanghai Jiaotong University, Shanghai, China
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Wafer Fabrication: Automatic Material Handling System.
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De Gruyter, 2018
ISBN 10 : 3110486903
ISBN 13 : 9783110486902
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Wafer Fabrication: Automatic Material Handling System
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Hardcover. Etat : New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Table of content:Chapter 1 Wafer fabrication system-semiconductor manufacturing, process, manufacturing system, machining system, dispatchChapter 2 Automatic Materiel Handling System (AMHS) in wafer fabrication-development, sub-systems, layout, feat. N° de réf. du vendeur 218849637
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Wafer Fabrication : Automatic Materiel Handling System
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Wafer Fabrication - Automatic Material Handling System (eng)
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Wafer Fabrication : Automatic Material Handling System
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