Design for Manufacturability with Advanced Lithography - Couverture souple

Yu, Bei; Pan, David Z.

 
9783319203867: Design for Manufacturability with Advanced Lithography
Couverture souple
ISBN 10 : 331920386X ISBN 13 : 9783319203867
Editeur : Springer, 2015

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Synopsis

Introduction.- Layout Decomposition for Triple Patterning.- Layout Decomposition for Other Patterning Techniques.- Standard Cell Compliance and Placement Co-Optimization.- Design for Manufacturability with E-Beam Lithography.- Conclusions and Future Works.-

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Éditeur
Springer
Date d'édition
2015
Langue
anglais
ISBN 10 
331920386X
ISBN 13 
9783319203867
Reliure
Taschenbuch
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
CMN Printpool Inh. Mathis Neumann
https://www.also.com/ec/cms5/en_6000/6000/index.jsp

Friedrich-Karl-Str. 9
Hamburg
Allemagne

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