Synopsis
This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
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Présentation de l'éditeur
This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
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Modelling of Microfabrication Systems
Edité par
Springer, 2003
ISBN 10 : 3540002529
ISBN 13 : 9783540002529
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Modelling of Microfabrication Systems
Edité par
Springer, New York, NY, 2003
ISBN 10 : 3540002529
ISBN 13 : 9783540002529
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Modelling of Microfabrication Systems
Edité par
Springer Berlin / Heidelberg, 2003
ISBN 10 : 3540002529
ISBN 13 : 9783540002529
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Modelling of Microfabrication Systems
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Modelling Of Microfabricaiton Systems (Hb)
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Modelling of Microfabrication Systems
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Modelling Of Microfabricaiton Systems (Hb)
Edition internationaleVendeur : Romtrade Corp., STERLING HEIGHTS, MI, Etats-Unis
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Modelling of Microfabrication Systems
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Modelling of Microfabrication Systems
Edité par
Springer, 2003
ISBN 10 : 3540002529
ISBN 13 : 9783540002529
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Modelling Of Microfabrication Systems
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