Laser-Assisted Microtechnology - Couverture rigide

Metev, Simeon M.; Veiko, Vadim P.

 
9783540539254: Laser-Assisted Microtechnology
Couverture rigide
ISBN 10 : 3540539255 ISBN 13 : 9783540539254
Editeur : Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K, 1994

Synopsis

Laser-Assisted Microtechnology deals with laser applications to a wide variety of problems in microelectronic design and fabrication. It covers micromachining of thin films, microprocessing of materials, maskless laser micropatterning and laser-assisted synthesis of thin systems. The monograph describes fundamental aspects and practical details of the technological processes as well as the optimum conditions for their realization.

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Éditeur
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Date d'édition
1994
Langue
anglais
ISBN 10 
3540539255
ISBN 13 
9783540539254
Reliure
Relié
Nombre de pages
250
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible

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Edition présentée

ISBN 10 :  3642872735 ISBN 13 :  9783642872730
Editeur : Springer, 2012
Couverture souple