Synopsis
Gate Dielectrics focusses on dielectric films satisfying the superior quality gate dielectric even in large-scale integration. The information presented is rather up to date with regard to nanometer-range ultrathin gate-dielectric films, which are indispensible for submicrometer ULSIs.
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Gate Dielectrics and MOS ULSIs: Principles, Technologies and Applications (Springer Series in Electronics and Photonics)
Edité par
Springer, 1997
ISBN 10 : 3540631828
ISBN 13 : 9783540631828
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Gate Dielectrics and MOS ULSIs: Principles, Technologies and Applications (Springer Series in Electronics and Photonics)
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Gate Dielectrics and MOS ULSIs : Principles, Technologies and Applications
Edité par
Springer-Verlag GmbH & Co. KG, 1997
ISBN 10 : 3540631828
ISBN 13 : 9783540631828
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Gate Dielectrics and MOS ULSIs : Principles, Technologies and Applications
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ISBN 10 : 3540631828
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