Gate Dielectrics and Mos ULSIs - Couverture rigide

Hori, T

 
9783540631828: Gate Dielectrics and Mos ULSIs
Couverture rigide
ISBN 10 : 3540631828 ISBN 13 : 9783540631828
Editeur : Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K, 1997

Synopsis

Gate Dielectrics focusses on dielectric films satisfying the superior quality gate dielectric even in large-scale integration. The information presented is rather up to date with regard to nanometer-range ultrathin gate-dielectric films, which are indispensible for submicrometer ULSIs.

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Éditeur
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Date d'édition
1997
Langue
anglais
ISBN 10 
3540631828
ISBN 13 
9783540631828
Reliure
Relié
Nombre de pages
366
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
CMN Printpool Inh. Mathis Neumann
https://www.also.com/ec/cms5/en_6000/6000/index.jsp

Friedrich-Karl-Str. 9
Hamburg
Allemagne

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