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Synopsis
Low dielectric materials are an important component of microelectronic devices. In this carefully edited volume the leading researchers give an introduction to and a survey of the various fields of dielectrics for IC integration. The book appeals to materials reserachers, electrical engineers and advanced students.
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Low Dielectric Constant Materials for IC Applications
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Springer Berlin Heidelberg Nov 2002, 2002
ISBN 10 : 3540678190
ISBN 13 : 9783540678199
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Buch. Etat : Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. This comprehensive book covers the latest low-dielectric-constant (low-k) materials technology, thin film materials characterization, integration and reliability for back-end interconnects and packaging applications in microelectronics. Highly informative contributions from leading academic and industrial laboratories provide comprehensive information about materials technologies for 0.18 um process technology. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization techniques, Integration, Reliability. This volume will be an invaluable resource for professionals, scientists, researchers and graduate students involved in dielectric technology development, materials science, polymer science, and semiconductor devices and processing. 332 pp. Englisch. N° de réf. du vendeur 9783540678199
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Gebunden. Etat : New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. First one in the emerging field of low dielectric constant materialsThere is worldwide a big need for such a bookLow dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. This comprehensive book covers the latest low-d. N° de réf. du vendeur 4898410
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