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Global Modeling and Peripheral Plasma
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VDM Verlag Dr. Müller, 2009
ISBN 10 : 3639139348
ISBN 13 : 9783639139341
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Vendeur : moluna, Greven, Allemagne
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Kartoniert / Broschiert. Etat : New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Autor/Autorin: Kim SungjinPh.D in Electrical Engineering, nResearched on plasma modeling and experiments nat University of California, Berkeley. Worked as the nsemiconductor thin film technologiest at Samsung Electronics and nAMD/Spansion.In . N° de réf. du vendeur 4961004
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Global Modeling and Peripheral Plasma
ISBN 10 : 3639139348
ISBN 13 : 9783639139341
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Global Modeling and Peripheral Plasma
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ISBN 13 : 9783639139341
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ISBN 13 : 9783639139341
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Global Modeling and Peripheral Plasma : An Improved Global Model for Electronegative Discharge and Ignition Conditions for Peripheral Plasma Connected to a Capacitive Discharge
impression à la demandeVendeur : AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Allemagne
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Taschenbuch. Etat : Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - In the first part of this book, an improved volume-averaged global model is developed for a cylindrical electronegative plasma that is applicable over a wide range of electron densities, electronegativities, and pressures. It is applied to steady and pulsed-power oxygen discharges. The model incorporates effective volume and surface loss factors for ions and electrons combining three EN discharge regimes spanning the plasma parameters and gas pressures of interest.The second part explores both theoretically and experimentally a capacitive discharge connected through a dielectric or metal slot to a peripheral grounded region, which is used in commercial dual frequency capacitive discharges. Ignition of the peripheral plasma produces effects that are detrimental to processing performance. Discharge models are developed for diffusion and plasma maintenance in the slot, and plasma maintenance in the periphery. The theoretical predictions of ignition conditions are compared with experimental results. Instabilities associated with the loss of confinement are discovered, and a physical model is proposed. N° de réf. du vendeur 9783639139341
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Global Modeling and Peripheral Plasma | An Improved Global Model for Electronegative Discharge and Ignition Conditions for Peripheral Plasma Connected to a Capacitive Discharge
Vendeur : preigu, Osnabrück, Allemagne
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Taschenbuch. Etat : Neu. Global Modeling and Peripheral Plasma | An Improved Global Model for Electronegative Discharge and Ignition Conditions for Peripheral Plasma Connected to a Capacitive Discharge | Sungjin Kim | Taschenbuch | Englisch | VDM Verlag Dr. Müller | EAN 9783639139341 | Verantwortliche Person für die EU: preigu GmbH & Co. KG, Lengericher Landstr. 19, 49078 Osnabrück, mail[at]preigu[dot]de | Anbieter: preigu. N° de réf. du vendeur 101631850
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