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Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes - Couverture souple

Gatzen, Hans H.; Saile, Volker; Leuthold, Jürg

 
9783662443965: Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes
Couverture souple
ISBN 10 : 3662443961 ISBN 13 : 9783662443965
Editeur : Springer, 2015

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Synopsis

Introduction-MEMS, a Historical Perspective.- Vacuum Technology.- Deposition Technologies.- Etching Technologies.- Doping and Surface Modification.- Lithography.- LIGA.- Nanofabrication by Self-Assembly.- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding.- Enabling Technologies II - Contamination Control.- Device Fabrication - An Example.

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Éditeur
Springer
Date d'édition
2015
Langue
anglais
ISBN 10 
3662443961
ISBN 13 
9783662443965
Reliure
Paperback
Coordonnées du fabricant
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Personne responsable
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