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Synopsis
Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years.
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This volume updates scientists and engineers on the state of the art in various key techniques used to fabricate nanoscale structures. As well as covering lithographic creation of nano features, it focuses on new and revolutionary devices such as biosensors.
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Nanofabrication: Techniques and Principles
Edité par
Springer, 2011
ISBN 10 : 3709104238
ISBN 13 : 9783709104231
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Nanofabrication: Techniques and Principles [Hardcover] [Nov 09, 2011] Stepanova, Maria and Dew, Steven
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Nanofabrication (eng)
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Nanofabrication
Edité par
Springer Vienna Nov 2011, 2011
ISBN 10 : 3709104238
ISBN 13 : 9783709104231
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Buch. Etat : Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years. 352 pp. Englisch. N° de réf. du vendeur 9783709104231
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Nanofabrication: Techniques and Principles
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Nanofabrication : Techniques and Principles
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Buch. Etat : Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years. N° de réf. du vendeur 9783709104231
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Nanofabrication
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Nanofabrication
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Springer Vienna, Springer Nov 2011, 2011
ISBN 10 : 3709104238
ISBN 13 : 9783709104231
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Buch. Etat : Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years.Springer-Verlag KG, Sachsenplatz 4-6, 1201 Wien 352 pp. Englisch. N° de réf. du vendeur 9783709104231
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Nanofabrication
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Nanofabrication
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