Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces - Couverture souple

 
9783908450405: Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces
Couverture souple
ISBN 10 : 3908450403 ISBN 13 : 9783908450405
Editeur : Trans Tech Publications Ltd, 1998

Synopsis

The proceedings of the Fourth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS '98) cover all aspects of ultra-clean Si-technology: cleaning, contamination control, Si-surface chemistry and topography, and its relationship to device performance and process yield. New areas of concern include: cleaning at the interconnect level, resist strip and polymer removal (dry and wet), cleaning and contamination aspects of metallization, wafer backside cleaning and cleaning after Chemical-Mechanical-Polishing (CMP).

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Éditeur
Trans Tech Publications Ltd
Date d'édition
1998
Langue
anglais
ISBN 10 
3908450403
ISBN 13 
9783908450405
Reliure
Broché
Nombre de pages
316
Éditeur
Heyns Marc, Meuris Marc, Mertens Paul
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible

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