Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces: Ucpss 2006 : Selected, Peer Reviewed Papers from the 8th International Symposium on Ultra Clean ... in Antwerp, Belgium, September 18-20, 2006 - Couverture souple

 
9783908451464: Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces: Ucpss 2006 : Selected, Peer Reviewed Papers from the 8th International Symposium on Ultra Clean ... in Antwerp, Belgium, September 18-20, 2006
Couverture souple
ISBN 10 : 3908451469 ISBN 13 : 9783908451464
Editeur : Trans Tech Publications Ltd, 2008

Synopsis

Volume is indexed by Thomson Reuters CPCI-S (WoS).
This collection of 86 peer-reviewed papers covers all aspects of the use of ultra-clean technology for large-scale integration on semiconductors, and cleaning and contamination-control in both front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) processing.

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Éditeur
Trans Tech Publications Ltd
Date d'édition
2008
Langue
anglais
ISBN 10 
3908451469
ISBN 13 
9783908451464
Reliure
Broché
Nombre de pages
400
Éditeur
Mertens Paul, Meuris Marc, Heyns Marc
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible