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Design and Development of Si/SiGe Optical Source, Waveguide for On-Chip - Couverture souple

Ogudo, Kingsley

 
9786138456414: Design and Development of Si/SiGe Optical Source, Waveguide for On-Chip

Synopsis

Une série de liaisons de communication optique sur puce de 50 µm de longueur, utilisant des longueurs d'onde de propagation de 650 à 850 nm, ont été conçues et réalisées, avec un processus bipolaire SiGe radiofréquence (RF) 0,35 µm. Des sources optiques dimensionnées en microns, des guides d'ondes et des détecteurs de nitrure de silicium ont tous été intégrés sur la même puce pour former une communication complète sur puce micro-optique liaisons. Les LED Si à base d'avalanche (si Av LEDs), le contact Schottky, les stratégies de densification TEOS, les guides d'ondes à base de nitrure de silicium et les technologies de détection bipolaire SiGe de pointe ont été utilisées comme stratégies de conception clés. À partir de la mesure, les meilleures performances des liaisons optiques conçues sur puce montrent un couplage optique de la source au détecteur avec une perte totale de budget de liaison optique de -30 dB jusqu'à 500 MHz en fréquence de coupe. Nous avons observé que le bon alignement du guide d'onde avec la source et la bonne efficacité de chaque dispositif intégré sont alors clairement atteints. Des performances de fréquence plus élevées sont également envisagées à partir des mesures préliminaires.

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