Laser processing of biocompatible polymers for development of mems - Couverture souple

Atanasov, Petar; Stankova, Nadya; Armyanov, Stephan

 
9786139831081: Laser processing of biocompatible polymers for development of mems

Synopsis

L'élastomère PDMS de qualité médicale est un biomatériau largement utilisé en médecine et pour la production d'appareils de haute technologie - MEMS et NEMS. Les résultats de l'étude expérimentale du traitement PDMS-élastomère par fs-, ps- et ns-lasers, travaillant dans les régions UV, VIS et NIR des spectres sont présentés. Différents paramètres de traitement tels que la durée d'impulsion, la fluidité, la vitesse de balayage et le chevauchement des impulsions suivantes sont variés afin d'activer et de modifier la morphologie de la surface. Des tranchées haute définition sont produites. Des analyses par laser couleur 3D et microscope optique, XRD, SEM, XPS et μ-Raman sont réalisées afin d'obtenir des informations sur la morphologie structurelle et l'altération de la composition chimique des traces ablées. Les propriétés optiques du matériau traité sont spécialement étudiées et évaluées. Enfin, des tentatives de métallisation réussie par Pt ou Ni via électro-placage des tranchées produites sont réalisées. Le processus de métallisation n'est pas sensible à l'intervalle de temps après le traitement au laser. Les résultats sont très prometteurs et confirment l'attente d'utiliser une telle technologie laser et métallisation pour la micro- ou nano-fabrication d'appareils de haute technologie.

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