Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1995: Volume 11 (MRS Conference Proceedings)

Ellwanger, Russell C., Wang, Shi-Qing

ISBN 10: 155899341X / ISBN 13: 9781558993419

Edité par Materials Research Society (edition 1), 2000

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Détails bibliographiques

• Titre: Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1995: Volume 11 (MRS Conference Proceedings)
• Éditeur: Materials Research Society (edition 1)
• Date de parution: 2000
• Langue: anglais
• ISBN à 10 chiffres: 155899341X
• ISBN à 13 chiffres: 9781558993419
• Reliure: Hardcover
• Édition: 1.
• État de l'article: Good

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Synopsis

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.