Advances in CMP Polishing Technologies

Langue : anglais

Edité par Elsevier Science, 2011

1437778593 / 9781437778595

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Demystifies scientific developments and technological innovations, opening them up for new applications and process improvements in the semiconductor industry and other areas of precision engineering Explores stock removal mechanisms in CM.

N° de réf. du vendeur 4169681

Titre
Advances in CMP Polishing Technologies
Auteur
Doi, Toshiro|Marinescu, Ioan D.|Kurokawa, Syuhei
Éditeur
Elsevier Science
Année de publication
2011
État de l'article
New
Reliure
Gebunden
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
1437778593
ISBN à 13 chiffres
9781437778595

moluna

Greven, Allemagne

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