Atomic Layer Deposition Technology: From Manufacturing Principles to Equipment Applications(Chinese Edition)

Langue : anglais

ISBN 10 : 7577218006 (ISBN 13 : 9787577218007)

Vendeur : liu xing, Nanjing, JS, Chineliu xing

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Language:Chinese.Paperback. Pub Date: 2025-08 Publisher: Huazhong University of Science and Technology Press This book focuses on atomic layer deposition (ALD) technology. elaborating on ALD processes. controllable manufacturing methods for nanostructures. and the research and application of intelligent manufacturing equipment. The book is divided into nine chapters. Chapter 1 explains the basic principles and processes of ALD technology; Chapters 2 and 3 introduce the ALD process and micro/n.

N° de réf. du vendeur DU061608

Détails bibliographiques

Titre
Atomic Layer Deposition Technology: From Manufacturing Principles to Equipment Applications(Chinese Edition)
Auteur
CHEN RONG . DAN BIN . CAO KUN . LIU XIAO
État de l'article
New
Reliure
paperback
Langue
anglais

liu xing

Nanjing, JS, Chine

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Spécialité

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