CMOS-MEMS Fabrication Technologies and Devices (Hardcover)

Langue : anglais

Edité par Mdpi AG, 2026

372588661X / 9783725886616

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Hardcover. This Reprint collects 10 outstanding peer-reviewed articles, focusing on CMOS-MEMS fabrication technologies and devices. The content of these articles is within the scope of a Special Issue. Within the articles, CMOS gas sensors are assessed for gas mixture analysis; CMOS-MEMS pixel sensors are used for thermal neutron imaging; resistive microbolometers are fabricated via the CMOS process; an MEMS Pirani sensor is utilized for in situ pressure distribution sensing; CMOS low-noise amplifiers, power amplifiers, and energy micro-harvesters are manufactured using CMOS-MEMS technology; and high aspect ratio TSVs are used for 3D integration. This Reprint is especially relevant for any readers with an interest in the abovementioned topics. This item is printed on demand. Shipping may be from our UK warehouse or from our Australian or US warehouses, depending on stock availability.

N° de réf. du vendeur 9783725886616

Titre
CMOS-MEMS Fabrication Technologies and Devices (Hardcover)
Auteur
Liangxing Hu
Éditeur
Mdpi AG
Année de publication
2026
État de l'article
new
Reliure
Hardcover
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
372588661X
ISBN à 13 chiffres
9783725886616

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