CMOS-MEMS Fabrication Technologies and Devices

Langue : anglais

Edité par MDPI AG, 2026

372588661X / 9783725886616

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This Reprint collects 10 outstanding peer-reviewed articles, focusing on CMOS-MEMS fabrication technologies and devices. The content of these articles is within the scope of a Special Issue. Within the articles, CMOS gas sensors are assessed for gas mixture analysis; CMOS-MEMS pixel sensors are used for thermal neutron imaging; resistive microbolometers are fabricated via the CMOS process; an MEMS Pirani sensor is utilized for in situ pressure distribution sensing; CMOS low-noise amplifiers, power amplifiers, and energy micro-harvesters are manufactured using CMOS-MEMS technology; and high aspect ratio TSVs are used for 3D integration. This Reprint is especially relevant for any readers with an interest in the abovementioned topics.

N° de réf. du vendeur 9783725886616

Titre
CMOS-MEMS Fabrication Technologies and Devices
Éditeur
MDPI AG
Année de publication
2026
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
372588661X
ISBN à 13 chiffres
9783725886616
Poids de l'article
535 grammes
Dimensions
250x175x13 mm

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