Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses

Borst, Christopher; Gill, William N.; Gutmann, Ronald J.

ISBN 10: 1402071930 ISBN 13: 9781402071935
Edité par Kluwer Academic Publishers, 2002
Langue: anglais
Etat : Neuf Couverture rigide

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