Creation of photomasks by laser maskless lithography

Langue : anglais

Edité par Our Knowledge Publishing Jun 2021, 2021

6203663077 / 9786203663075

Vendeur : BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, AllemagneBuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

Vendeur avec une évaluation de 5 étoiles

Vendeur AbeBooks depuis 11 janvier 2012

Livre broché

Etat: Neuf

EUR 35,90

EUR 23,00 expédition 
Expédition depuis Allemagne vers Etats-Unis

Quantité disponible : 2 disponibles

Ajouter au panier
Retours gratuits sous 30 jours

A propos de cet article

This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Photolithography occupies the main place in modern technology for the manufacture of microelectronic products. The technological process of photolithography consists of several basic operations: preparing the surface of a semiconductor wafer, applying a layer of photoresist to the surface of the wafer, drying the photoresist, exposing, developing and hardening the photoresist, controlling the geometric dimensions of the image, etching the film, washing the wafer after etching, removing the photoresist film from the surface, control of processed plates. The aim of the work was to obtain photomasks with the minimum parameters possible for this equipment. For this, the influence of the exposure time and the development time on the parameters of photomasks (the nature of the pattern) obtained by the method of maskless laser lithography on the exposure installation 'Heidelberg µPG501' was investigated. As a result of the work, photomasks with geometric parameters of 2 mim were made, while the optimal exposure time of 35 ms and the development time of 60 s were set for this batch. 68 pp. Englisch.…

N° de réf. du vendeur 9786203663075

Titre
Creation of photomasks by laser maskless lithography
Auteur
Elena Anatolyevna Shnyagina
Éditeur
Our Knowledge Publishing Jun 2021
Année de publication
2021
État de l'article
Neu
Reliure
Taschenbuch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
6203663077
ISBN à 13 chiffres
9786203663075
Poids de l'article
119 grammes
Dimensions
220x150x5 mm

BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

Bergisch Gladbach, Allemagne

Vendeur avec une évaluation de 5 étoiles

Vendeur AbeBooks depuis 11 janvier 2012

Frais d'expédition de Allemagne vers Etats-Unis

Article5 à 15 jours ouvrés5 à 15 jours ouvrés
Premier articleEUR 23,00EUR 23,00
Les délais de livraison sont fixés par les vendeurs et varient en fonction du transporteur et du lieu. Les commandes transitant par les douanes peuvent être retardées et les acheteurs sont responsables de tous les droits ou frais associés. Les vendeurs peuvent vous contacter au sujet de frais supplémentaires afin de couvrir toute augmentation des coûts d'expédition de vos articles.

Modes de paiement

  • Visa
  • Mastercard
  • American Express
  • Carte Bleue
  • Apple Pay
  • Google Pay
  • Chèque
  • Paypal
  • Virement bancaire

Profil professionnel du vendeur

BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

Allemagne