Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies

Langue : anglais

Edité par Springer Netherlands Okt 1992, 1992

0792320034 / 9780792320036

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Semiconductors lie at the heart of some of the most important industries and technologies of the twentieth century. The complexity of silicon integrated circuits is increasing considerably because of the continuous dimensional shrinkage to improve efficiency and functionality. This evolution in design rules poses real challenges for the materials scientists and processing engineers. Materials, defects and processing now have to be understood in their totality. World experts discuss, in this volume, the crucial issues facing lithography, ion implication and plasma processing, metallization and insulating layer quality, and crystal growth. Particular emphasis is placed upon silicon, but compound semiconductors and photonic materials are also highlighted. The fundamental concepts of phase stability, interfaces and defects play a key role in understanding these crucial issues. These concepts are reviewed in a crucial fashion. 562 pp. Englisch.

N° de réf. du vendeur 9780792320036

Titre
Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies
Auteur
S. Coffa
Éditeur
Springer Netherlands Okt 1992
Année de publication
1992
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
0792320034
ISBN à 13 chiffres
9780792320036
Poids de l'article
1 001 grammes
Dimensions
241x160x35 mm

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