Design and Manufacturing of Active Microsystems

Langue : anglais

Edité par Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg Mär 2011, 2011

3642129021 / 9783642129025

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle. The travel of the investigated actuator systems is on the order of several millimeters. The total construction size of the actuator is on the range of several centimeters whereas essential structures being several micrometers. The methods and the production technologies that are investigated on the basis of various research models incorporate the fundamental process chains of microsystems. 456 pp. Englisch.

N° de réf. du vendeur 9783642129025

Titre
Design and Manufacturing of Active Microsystems
Auteur
Stephanus Büttgenbach
Éditeur
Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg Mär 2011
Année de publication
2011
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
3642129021
ISBN à 13 chiffres
9783642129025
Poids de l'article
846 grammes
Dimensions
241x160x29 mm

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Bergisch Gladbach, Allemagne

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