Development of Mass Microsensors for Implantable MEMS

Langue : anglais

Edité par SPS Jan 2015, 2015

3639708369 / 9783639708363

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Glaucoma is a disease that affects tens of millions of people around the world. The development of MEMS and the generation of new materials allow the development of implantable micro-devices with improved biocompatibility. The knowledge of biomolecules associated with the glaucoma pathology will increase the effectiveness of a microvalve for glaucoma tretmentt. In this sense, a mass microsensor capable of sensing biomolecules is desirable. This book was focused on the design, simulation, fabrication and characterization of MEMS-based mass microsensors for the detection of biomolecules. Regarding the biocompatibility, UNCD and Parylene were used as structural materials; as piezoelectric materials, quartz, PVDF and AlN were used. The parameters of the resonators were extracted by using 3D FEM models and experimental results. UNCD films used as substrate, yielded a highly oriented (002) AlN films even as thin as 80 nm; it exhibited a piezoelectric coefficient of about 5.3 pm/V, one of the highest demonstrated today. AlN/diamond structure is a very promising device for FBAR applications so it opens a huge field of biomedical applications. 268 pp. Englisch. …

N° de réf. du vendeur 9783639708363

Titre
Development of Mass Microsensors for Implantable MEMS
Auteur
Martín Zalazar
Éditeur
SPS Jan 2015
Année de publication
2015
État de l'article
Neu
Jaquette
Jaquette
Reliure
Taschenbuch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
3639708369
ISBN à 13 chiffres
9783639708363
Poids de l'article
417 grammes
Dimensions
220x150x17 mm

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