Electroceramic-Based MEMS
Langue : anglais
Edité par Springer US Dez 2010, 2010
Série : Livre 4 sur 13 - Electronic Materials: Science & Technology
- Livre broché
- Neuf
Vendeur : BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, AllemagneBuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.
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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -The book is focused on the use of functional oxide and nitride films to enlarge the application range of MEMS (microelectromechanical systems), including micro-sensors, micro-actuators, transducers, and electronic components for microwaves and optical communications systems. Applications, emerging applications, fabrication technology and functioning issues are presented and discussed. The book covers the following topics:Part A: Applications and devices with electroceramic-based MEMS:Chemical microsensors Microactuators based on thin films Micromachined ultrasonic transducers Thick-film piezoelectric and magnetostrictive devices Pyroelectric microsystems RF bulk acoustic wave resonators and filters High frequency tunable devicesMEMS for optical functionality Part B: Materials, fabrication technology, and functionality:Ceramic thick films for MEMS Piezoelectric thin films for MEMSMaterials and technology in thin films for tunable high frequency devices Permittivity, tunability and loss in ferroelectrics for reconfigurable high frequency electronics Microfabrication of piezoelectric MEMS Nano patterning methods for electroceramicsSoft lithography emerging techniques The book is addressed to engineers, scientists and researchers of various disciplines, device engineers, materials engineers, chemists, physicists and microtechnologists who are working and/or interested in this fast growing and highly promising field.The publication of this book follows a Special Issue on electroceramic-based MEMS that was published in the Journal of Electroceramics at the beginning of 2004. The ten invited papers of that special issue were adapted by the authors into chapters of the present book and five additional chapters were added. 428 pp. Englisch.…
N° de réf. du vendeur 9781441936042
- Titre
- Electroceramic-Based MEMS
- Auteur
- Nava Setter
- Éditeur
- Springer US Dez 2010
- Année de publication
- 2010
- État de l'article
- Neu
- Reliure
- Taschenbuch
- Langue
- anglais
- ISBN à 10 chiffres
- 1441936041
- ISBN à 13 chiffres
- 9781441936042
- Poids de l'article
- 645 grammes
- Dimensions
- 235x155x24 mm
- Série
- Livre 4 sur 13: Electronic Materials: Science & Technology
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Informations concernant le droit de rétractation
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Pour respecter le délai de rétractation, il vous suffit d'envoyer votre message concernant l'exercice de votre droit de rétractation avant l'expiration du délai de rétractation.
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