Fabrication and Design of Resonant Microdevices

Langue : anglais

Edité par Elsevier Science Sep 2008, 2008

0815515774 / 9780815515777

Série : Livre 1 sur 393 - Micro and Nano Technologies

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book discusses the main issues of fabrication and design, and applications of micromachined resonant devices, including techniques commonly used for processing the output signal of resonant micro-electro-mechanical systems (MEMS). Concepts of resonance are introduced, with an overview of fabrication techniques for micromachined devices - important to understand as design options will depend on how the device will be fabricated. Also explained: excitation and signal detection methods; an analytic model of device behavior (a valuable design tool); numerical simulation techniques; issues of damping and noise for resonant MEMS; electronic interfacing; packaging issues; and numerous examples of resonant MEMS from academia and industry. 250 pp. Englisch.

N° de réf. du vendeur 9780815515777

Titre
Fabrication and Design of Resonant Microdevices
Auteur
Behraad Bahreyni
Éditeur
Elsevier Science Sep 2008
Année de publication
2008
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
0815515774
ISBN à 13 chiffres
9780815515777
Poids de l'article
571 grammes
Dimensions
262x182x19 mm
Série
Livre 1 sur 393: Micro and Nano Technologies

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