Green Etching Techniques for MEMS Applications
Langue : anglais
Edité par CRC Press, 2025
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- Neuf

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Ajouter au panierN° de réf. du vendeur I-9781041144960
- Titre
- Green Etching Techniques for MEMS Applications
- Auteur
- Wang, Kaiying
- Éditeur
- CRC Press
- Année de publication
- 2025
- État de l'article
- New
- Reliure
- Couverture rigide
- Langue
- anglais
- ISBN à 10 chiffres
- 1041144962
- ISBN à 13 chiffres
- 9781041144960
Green Etching Techniques for MEMS Applications: Sustainable, Fluorine-Free Etching Methods for Micro-Electro-Mechanical Systems delivers an essential and comprehensive exploration of sustainable, fluorine-free etching methodologies for micro-electro-mechanical systems (MEMS). With growing environmental concerns around traditional MEMS fabrication, this book addresses a critical issue by detailing advanced, eco-friendly alternatives that mitigate environmental impacts without compromising technical performance. Covering a spectrum of innovative etching technologies, from dry and wet chemistries to electrochemical and AI-enhanced hybrid methods, the book offers practical guidance, robust theoretical foundations, and insights from real-world industrial case studies. It is a crucial resource for professionals, researchers, and students dedicated to advancing the sustainability of MEMS fabrication.
Features:
- Thorough analysis of fluorine-free, environmentally friendly MEMS etching alternatives
- Coverage of emerging technologies, including supercritical CO2, ionic liquids, and gas-phase selective etching
- Exploration of AI-driven process optimization for sustainable and efficient MEMS manufacturing
- Detailed industrial case studies highlighting successful implementation and scalability
- Clear discussions on regulatory drivers, market trends, and future roadmaps for sustainable microfabrication
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À propos de l’auteur
Kaiying Wang received his PhD in condensed matter physics from the Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences. He joined the University of South-Eastern Norway (USN) in 2007 as an associate professor and was promoted to professor in 2010. His research interests focus on micro-fabrication and nanotechnology, electrochemistry, photochemistry and nanodevices for environment and energy applications. For teaching, he has taught the Microfabrication (MFA4000, master) and Nanotechnology (TSE3120, bachelor) at the University of South-Eastern Norway since 2010. Meanwhile, he has participated in several national and European projects related to micro/nano fabrication technology. The related education programmes at USN include: (1) Sensor Systems and Innovation (2) Smart Systems Integrated Solutions, and (3) Micro- and Nano Systems Technology.
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Informations concernant le droit de rétractation
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