Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 2: Micromachining and Microfabrication (SPIE PRESS Monograph Vol. PM40) (Spie Press Monograph, Pm39-Pm40)

Prosenjit Rai-Choudhury

ISBN 10: 0819423793 / ISBN 13: 9780819423795

Edité par Society of Photo Optical, 1997

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Détails bibliographiques

• Titre: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 2: Micromachining and Microfabrication (SPIE PRESS Monograph Vol. PM40) (Spie Press Monograph, Pm39-Pm40)
• Éditeur: Society of Photo Optical
• Date de parution: 1997
• Langue: anglais
• ISBN à 10 chiffres: 0819423793
• ISBN à 13 chiffres: 9780819423795
• Reliure: Paperback
• État de l'article: Good

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