Handbook of Photomask Manufacturing Technology
Langue : anglais
Edité par CRC Press 2005-04-07, 2005
- Livre relié
- Neuf

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N° de réf. du vendeur 6666-TNFPD-9780824753740
- Titre
- Handbook of Photomask Manufacturing Technology
- Auteur
- Syed Rizvi, Hisatake Sano, R. Lal Tummala, Michael T. Postek, David R. Medeiros, Min Bai, Sergey Babin, Andreas Erdmann, Ray J. Hoobler, Christian Kalus, Kurt R. Kimmel, Hal Kusunose, Randall Lee, Vladimir Liberman, Wilhelm Maurer, S. Muckenhirn, James Potzick, Masatoshi Oda, Christer Rydberg, Anja Rosenbusch, Norio Saitou, Pei-yang Yan, Yung-Tsai Yen, Andrew G. Zanzal, Axel Zibold, Nobuyuki Yoshioka, Takayoshi Matsuyama, Ebru Apak, Makato Yonezawa, Michael Lercel, R. Fabian Pease, Dachen Chu,
- Éditeur
- CRC Press 2005-04-07
- Année de publication
- 2005
- État de l'article
- New
- Reliure
- Hardcover
- Langue
- anglais
- ISBN à 10 chiffres
- 0824753747
- ISBN à 13 chiffres
- 9780824753740
The Handbook of Photomask Manufacturing Technology features contributions from 40 internationally prominent authors from industry, academia, government, national labs, and consortia. These authors discuss conventional masks and their supporting technologies, as well as next-generation, non-optical technologies such as extreme ultraviolet, electron projection, ion projection, and x-ray lithography. The book begins with an overview of the history of photomask development. It then demonstrates the steps involved in designing, producing, testing, inspecting, and repairing photomasks, following the sequences observed in actual production. The text also includes sections on materials used as well as modeling and simulation.
Continued refinements in the photomask-making process have ushered in the sub-wavelength era in nanolithography. This invaluable handbook synthesizes these refinements and provides the tools and possibilities necessary to reach the next generation of microfabrication technologies.
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Informations concernant le droit de rétractation
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Vous avez le droit d'exercer votre droit de rétractation sur ce contrat dans les 14 jours sans donner de raison.
Le délai de rétractation expirera au bout de 14 jours à compter du jour où vous-même, ou un tiers autre que le transporteur et désigné par vous, prendrez physiquement possession de la dernière marchandise, du dernier lot ou de la dernière pièce.
Pour exercer votre droit de rétractation, remplissez électroniquement et envoyez une déclaration claire sur notre site Web, sous « Vos achats » dans « Votre compte ». Nous vous communiquerons sans délai un accusé de réception de cette rétractation sur un support durable (par exemple, par e-mail).
Pour respecter le délai de rétractation, il vous suffit d'envoyer votre message concernant l'exercice de votre droit de rétractation avant l'expiration du délai de rétractation.
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Si vous exercez votre droit de rétractation sur ce contrat, nous vous rembourserons tous les paiements que vous avez effectués, y compris les frais de livraison (à l'exception des frais supplémentaires résultant du choix d'un mode de livraison autre que le type de livraison standard le moins cher que nous proposons).
Nous pouvons déduire du remboursement la perte de valeur de toute marchandise livrée, si la perte est le résultat d'une manipulation inutile de votre part.
Nous effectuerons le remboursement dans les meilleurs délais, et au plus tard 14 jours après le jour où nous aurons été informés de votre décision d'exercer votre droit de rétractation sur ce contrat.
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