Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Micro & Nano Technologies) (Micro and Nano Technologies)

Markku Tilli, Mervi Paulasto-Krockel, Teruaki Motooka Professor, Veikko Lindroos, Veikko Lindroos Professor

ISBN 10: 0323299652 ISBN 13: 9780323299657
Edité par William Andrew 2015-11-02, 2015
Langue: anglais
Etat : Neuf Couverture rigide

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