Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

Livre 268 sur 393: Micro and Nano Technologies

Tilli, Markku (EDT); Paulasto-krockel, Mervi (EDT); Petzold, Matthias (EDT); Theuss, Horst (EDT); Motooka, Teruaki (EDT)

ISBN 10: 0128177861 ISBN 13: 9780128177860
Edité par Elsevier, 2020
Langue: anglais
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