Ion Implantation And Annealing Applications, Science And Technology: Contributions From Iit School, Edition 2026
Langue : anglais
Edité par Springer Nature Switzerland Ag, 2026
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N° de réf. du vendeur x-3032311721
- Titre
- Ion Implantation And Annealing Applications, Science And Technology: Contributions From Iit School, Edition 2026
- Auteur
- Current, Michael I. (Editor)/ Lerch, Wilfried (Editor)
- Éditeur
- Springer Nature Switzerland Ag
- Année de publication
- 2026
- État de l'article
- Brand New
- Reliure
- Hardcover
- Langue
- anglais
- ISBN à 10 chiffres
- 3032311721
- ISBN à 13 chiffres
- 9783032311726
- Poids de l'article
- 1,28 kilogramme
This book is a new, comprehensive, tutorial-style reference from the IIT2026 school that unifies ion implantation and annealing, guiding the reader from historical context and fundamental beam physics through to full process integration in advanced semiconductor manufacturing. It uniquely combines rigorous coverage of ion sources, beam transport, implanter and annealer hardware, and state of the art thermal processing for Si, Ge, SiC, GaN, and other materials with a practical comparison of commercial tool platforms. Dedicated materials science chapters explain implantation induced defects in key semiconductor materials, their evolution during annealing, and the diffusion and dopant activation mechanisms that ultimately determine device performance, variability, and reliability. Extensive treatments of metrology, contamination control, and safety, together with forward looking application chapters for logic, memory, image sensors, and power devices, make the volume both an ideal introduction for newcomers and an authoritative reference for experienced engineers and scientists.
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Informations concernant le droit de rétractation
Droit statutaire de rétractation
Vous avez le droit d'exercer votre droit de rétractation sur ce contrat dans les 14 jours sans donner de raison.
Le délai de rétractation expirera au bout de 14 jours à compter du jour où vous-même, ou un tiers autre que le transporteur et désigné par vous, prendrez physiquement possession de la dernière marchandise, du dernier lot ou de la dernière pièce.
Pour exercer votre droit de rétractation, remplissez électroniquement et envoyez une déclaration claire sur notre site Web, sous « Vos achats » dans « Votre compte ». Nous vous communiquerons sans délai un accusé de réception de cette rétractation sur un support durable (par exemple, par e-mail).
Pour respecter le délai de rétractation, il vous suffit d'envoyer votre message concernant l'exercice de votre droit de rétractation avant l'expiration du délai de rétractation.
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Si vous exercez votre droit de rétractation sur ce contrat, nous vous rembourserons tous les paiements que vous avez effectués, y compris les frais de livraison (à l'exception des frais supplémentaires résultant du choix d'un mode de livraison autre que le type de livraison standard le moins cher que nous proposons).
Nous pouvons déduire du remboursement la perte de valeur de toute marchandise livrée, si la perte est le résultat d'une manipulation inutile de votre part.
Nous effectuerons le remboursement dans les meilleurs délais, et au plus tard 14 jours après le jour où nous aurons été informés de votre décision d'exercer votre droit de rétractation sur ce contrat.
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