Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices. Symposium held December 1 - 2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A.

ISBN 10: 1558994521 ISBN 13: 9781558994522
Edité par Warrendale, Pa., Materials Research Society, 1999
Langue: anglais
Etat : Occasion Couverture rigide

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