Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies : Origin, Characterization, Control, and Device Impact
Langue : anglais
Edité par Springer, 2018
Série : Livre 186 sur 233 - Springer Series in Materials Science
- Livre relié
- Neuf
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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This book provides a unique review of various aspects of metallic contamination in Si and Ge-based semiconductors. It discusses all of the important metals including their origin during crystal and/or device manufacturing, their fundamental properties, their characterization techniques and their impact on electrical devices' performance. Several control and possible gettering approaches are addressed.The book offers a valuable reference guide for all researchers and engineers studying advanced and state-of-the-art micro- and nano-electronic semiconductor devices and circuits. Adopting an interdisciplinary approach, it combines perspectives from e.g. material science, defect engineering, device processing, defect and device characterization, and device physics and engineering.
N° de réf. du vendeur 9783319939247
- Titre
- Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies : Origin, Characterization, Control, and Device Impact
- Auteur
- Cor Claeys
- Éditeur
- Springer
- Année de publication
- 2018
- État de l'article
- Neu
- Reliure
- Buch
- Langue
- anglais
- ISBN à 10 chiffres
- 3319939246
- ISBN à 13 chiffres
- 9783319939247
- Poids de l'article
- 869 grammes
- Dimensions
- 241x160x31 mm
- Série
- Livre 186 sur 233: Springer Series in Materials Science
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À propos de l’auteur
Within the Electrochemical Society, he was the Chair of the Electronics & Photonics Division from 2001 to 2003. In 2004, he received the Electronics and Photonics Division Award. In 2016 he received the Semi China Special Recognition Award for outstanding involvement in the China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC).
Eddy Simoen obtained his Bachelor's (1976-1978) and Master's degrees in Physics Engineering (1978-1980), as well as his Ph.D. in Engineering (1985), from Ghent University (Belgium). He is currently a Specialist at imec (Leuven, Belgium), involved in the study of defect and strainengineering in high-mobility and epitaxial substrates and defect studies in germanium and III-V compounds (AlN; GaN, InP, etc). Another current focus point is the study of 1-transistor memories based on bulk FinFET and Ultra-thin Buried Oxide (UTBOX) Silicon-on-Insulator (SOI), using low-frequency noise. In 2013, he was appointed a part-time Professor at Ghent University. He is a member of the IEEE and ECS and became an ECS Fellow in 2016.
In these fields, he has (co-) authored over 1500 Journal and Conference papers, 12 book chapters and a monograph on Radiation Effects in Advanced Semiconductor Devices and Materials (Springer, 2002). He was also a co-editor of the book on Germanium-based Technologies - from Materials to Devices (Elsevier March 2007; Chinese translation 2010). Another book on the "Fundamental and Technological Aspects of Extended Defects in Germanium" was published by Springer in January 2009. In 2016 he published "Random Telegraph Signals in Semiconductor Devices" with IOP. He is also a co-inventor of two patents.
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