Microelectromechanical Systems--Materials and Devices Ii

Sheppard Norman F. Bagdahn Jorg Vengallatore Srikar Spearing S. Mark

ISBN 10: 1605111112 ISBN 13: 9781605111117
Edité par Materials Research Society, 2009
Langue: anglais
Etat : Neuf Couverture rigide

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