Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films (Progress in Numerical Simulation for Microelectronics) [Paperback] Kleijn, Chris R. and Werner, Christoph

Werner, Christoph, Kleijn, Chris R.

ISBN 10: 3034877439 ISBN 13: 9783034877435
Edité par BirkhSuser, 2013
Langue: anglais
Etat : Neuf Couverture souple

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