NANOPATTERNING Â " FROM ULTRALARGE-SCALE INTEGRATION TO BIOTECHNOLOGY
LHADI MERHARI, CERAMEC, FRANCEKENNETH E. GONSALVES, UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA, CHARLOTTEELIZABETH A. DOBISZ, IBM ALMADEN RESEARCH CENTER, CALIFORNIAMARIE ANGELOPOULOS, IBM T J WATSON RESEARCH CENTER, NEW YORKDANIEL HERR, SRC, MATERIALS AND PROCESS SCIENCES, NORTH CAROLINA
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