Nanofabrication

Langue : anglais

Edité par Springer Vienna, Springer Vienna Jan 2014, 2014

370911666X / 9783709116661

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This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years.Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg 352 pp. Englisch.

N° de réf. du vendeur 9783709116661

Titre
Nanofabrication
Auteur
Steven Dew
Éditeur
Springer Vienna, Springer Vienna Jan 2014
Année de publication
2014
État de l'article
Neu
Reliure
Taschenbuch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
370911666X
ISBN à 13 chiffres
9783709116661
Poids de l'article
534 grammes
Dimensions
235x155x20 mm

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Emtmannsberg, BAYE, Allemagne

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