Optical Imaging in Projection Microlithography

Alfred K. Wong

ISBN 10: 0819458295 ISBN 13: 9780819458292
Edité par SPIE Press, 2005
Neuf(s) Einband - flex.(Paperback)

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Description :

An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can . N° de réf. du vendeur 2146021731

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Synopsis :

Here for the first time is an integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that efficiently covers the full spectrum of the important concepts. Alfred Wong offers rigorous underpinning, clarity in systematic formulation, physical insight into emerging ideas, as well as a system level view of the parameter tolerances required in manufacturing. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the step-by-step development, and technologists can gather general concepts and the key equations that result. Even the casual reader will gain a perspective on the key concepts, which will likely help facilitate dialog among technologists.

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Détails bibliographiques

Titre : Optical Imaging in Projection ...
Éditeur : SPIE Press
Date d'édition : 2005
Reliure : Einband - flex.(Paperback)
Etat : New

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Alfred Kwok-Kit Wong
Edité par SPIE Publications, 2005
ISBN 10 : 0819458295 ISBN 13 : 9780819458292
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Etat : New. An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can gather concepts and the equations that result. The casual reader will gain a perspective. Series: Tutorial Texts. Num Pages: 276 pages, Illustrations. BIC Classification: TJFC; TTB. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly. Dimension: 253 x 181 x 18. Weight in Grams: 662. . 2005. illustrated edition. Paperback. . . . . N° de réf. du vendeur V9780819458292

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Alfred Kwok-Kit Wong
Edité par Society of Photo Optical, 2005
ISBN 10 : 0819458295 ISBN 13 : 9780819458292
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Paperback. Etat : Brand New. illustrated edition. 276 pages. 9.75x6.75x0.50 inches. In Stock. N° de réf. du vendeur __0819458295

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Wong Alfred Kwok-Kit
ISBN 10 : 0819458295 ISBN 13 : 9780819458292
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Alfred K. Wong
Edité par SPIE Press, US, 2005
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Paperback. Etat : New. illustrated Edition. Here for the first time is an integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that efficiently covers the full spectrum of the important concepts. Alfred Wong offers rigorous underpinning, clarity in systematic formulation, physical insight into emerging ideas, as well as a system level view of the parameter tolerances required in manufacturing. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the step-by-step development, and technologists can gather general concepts and the key equations that result. Even the casual reader will gain a perspective on the key concepts, which will likely help facilitate dialog among technologists. N° de réf. du vendeur LU-9780819458292

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Alfred Kwok-Kit Wong
Edité par SPIE Publications, 2005
ISBN 10 : 0819458295 ISBN 13 : 9780819458292
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Etat : New. An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can gather concepts and the equations that result. The casual reader will gain a perspective. Series: Tutorial Texts. Num Pages: 276 pages, Illustrations. BIC Classification: TJFC; TTB. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly. Dimension: 253 x 181 x 18. Weight in Grams: 662. . 2005. illustrated edition. Paperback. . . . . Books ship from the US and Ireland. N° de réf. du vendeur V9780819458292

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