Optical Imaging in Projection Microlithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT66)

Langue : anglais

Edité par SPIE Publications, 2005

0819458295 / 9780819458292

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An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can gather concepts and the equations that result. The casual reader will gain a perspective. Series: Tutorial Texts. Num Pages: 276 pages, Illustrations. BIC Classification: TJFC; TTB. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly. Dimension: 253 x 181 x 18. Weight in Grams: 662. . 2005. illustrated edition. Paperback. . . . . Books ship from the US and Ireland.

N° de réf. du vendeur V9780819458292

Titre
Optical Imaging in Projection Microlithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT66)
Auteur
Alfred Kwok-Kit Wong
Éditeur
SPIE Publications
Année de publication
2005
État de l'article
New
Reliure
Couverture souple
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
0819458295
ISBN à 13 chiffres
9780819458292

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