PVD for Microelectronics: Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing

Langue : anglais

Edité par Elsevier Science & Technology, Academic Press, 1999

012533026X / 9780125330268

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Physics of Thin Films is one of the longest running continuing series in thin film science, consisting of 25 volumes since 1963. The series contains quality studies of the properties of various thin films materials and systems.In order to be able to reflect the development of today's science and to cover all modern aspects of thin films, the series, starting with Volume 20, has moved beyond the basic physics of thin films. It now addresses the most important aspects of both inorganic and organic thin films, in both their theoretical as well as technological aspects. Therefore, in order to reflect the modern technology-oriented problems, the title has been slightly modified from Physics of Thin Films to Thin Films.This volume, part of the Thin Films Series, has been wholly written by two authors instead of showcasing several edited manuscripts.

N° de réf. du vendeur 9780125330268

Titre
PVD for Microelectronics: Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing
Auteur
Stephen M. Rossnagel
Éditeur
Elsevier Science & Technology, Academic Press
Année de publication
1999
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
012533026X
ISBN à 13 chiffres
9780125330268
Poids de l'article
810 grammes
Dimensions
229x152x23 mm

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