Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials

Langue : anglais

Edité par Springer Netherlands Jan 1990, 1990

0792305841 / 9780792305842

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space. The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials. The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers. 576 pp. Englisch.

N° de réf. du vendeur 9780792305842

Titre
Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
Auteur
O. Auciello
Éditeur
Springer Netherlands Jan 1990
Année de publication
1990
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
0792305841
ISBN à 13 chiffres
9780792305842
Poids de l'article
1 021 grammes
Dimensions
241x160x36 mm

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