Practical MEMS: Analysis and Design of Microsystems, MEMS Sensors (accelerometers, Pressure Sensors, Gyroscopes), Sensor Electronics, Actuators, RF MEMS, Optical MEMS, and Microfluidic Systems

Ville Kaajakari

ISBN 10: 0982299109 ISBN 13: 9780982299104
Edité par Small Gear Publishing, 2009
Langue: anglais
Etat : Neuf Couverture rigide

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