Predictive Simulation of Semiconductor Processing : Status and Challenges

Langue : anglais

Edité par J.B. Metzler, 2010

3642058043 / 9783642058042

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Predictive Simulation of Semiconductor Processingenables researchers and developersto extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.

N° de réf. du vendeur 9783642058042

Titre
Predictive Simulation of Semiconductor Processing : Status and Challenges
Auteur
Jarek Dabrowski
Éditeur
J.B. Metzler
Année de publication
2010
État de l'article
Neu
Reliure
Taschenbuch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
3642058043
ISBN à 13 chiffres
9783642058042
Poids de l'article
774 grammes
Dimensions
235x155x28 mm

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Einbeck, Allemagne

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