Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry A User's Guide

Harland G. Tompkins/ William A. McGahan

ISBN 10: 0471181722 ISBN 13: 9780471181729

Edit� par Wiley-Interscience, 1999

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Synopsis :

Mit Hilfe der Ellipsometrie mi�t man Dicken und optische Eigenschaften d�nner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einf�hrung f�r ein interdisziplin�res Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)

� propos de l?auteur:

Harland Tompkins retired from full-time employment in 2001. During his full-time employment, he was employed by General Electric Co., Bell Laboratories, the Idaho National Engineering Lab, and Motorola.

William A. McGahan is the author of Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide, published by Wiley.

Les informations fournies dans la section � A propos du livre � peuvent faire r�f�rence � une autre �dition de ce titre.

D�tails bibliographiques

Titre : Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry...
�diteur : Wiley-Interscience
Date d'�dition : 1999
Reliure : Hardcover
Etat : Brand New

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Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide

McGahan, William A.,Tompkins, Harland G.

Edit� par Wiley-Interscience, 1999

ISBN 10 : 0471181722 ISBN 13 : 9780471181729

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Tompkins, Harland G.; McGahan, William A.

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Tompkins, Harland G. (Author), McGahan, William A. (Author)

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